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发表于 2020-9-28 18:16:01
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8070厂，一个小而全的三线工厂
本帖最后由 张浩-雷霆万钧 于 2020-9-28 18:29 编辑
boice 发表于 2020-9-28 16:41
我原来做硅片的公司就是浙大的校办工厂。
你既然在浙大校办厂做硅片 ，穿越时应该带些硅半导体的生产设备。
下面这样一个小而全的三线工厂(计划年产晶体管190万支、集成电路10万块，多晶硅3吨，单晶硅500公斤）。
8070厂八十年代后划入安丘无线电厂，本世纪初破产。
倒未必要全部照抄!但可以用这个为基础上，加上比较新的设备(譬如电子显微镜，带一批新的 ，可以很长时间)。
你可以写个同人吧，设备带过来一批，。但要消耗自产高纯化学品，还有电力 ，设备用旧时空的。
我对硅半导体不太熟悉，就通过老师知道一点。
临高如果能建立一套类似8070厂那样的中小规模集成电路。
以后爬升学习天朝吧！
不过临高可以带一些设备，先争取设备维护能力，在使用寿命内爬升科技，至少能勉强替代。
中国早期自己制造的部件，停留在手工调校的直接接触式光刻的作坊式生产，“机器不行靠巧手回天”。靠科学家和顶级技工协助进行实验室手工仿制。
这不是临高的模式吗(依靠大图书馆与归化民精英)
当80年代中期美国芯片巨头们开始引入步进掩膜光刻机，引入计算机辅助布线设计、生产多层互联结构的芯片的时候，中国发现，山寨不出来了。
一、国营八0七0厂概况
1、建厂背景
文化大革命期间，为反对帝国主义的侵略，毛主席提出：“备战，备荒，为人民”“深挖洞，广积粮，不称霸”，还提出在我国大西南建设大三线战略生产基地的思想。林彪提出了建设三线的“六字方针”：靠山，隐蔽，分散。根据这些指示山东军政首脑经中央批准决定在沂蒙山区建设山东的小三线。小三线的主要内容是：建设一批国防军工企业基地，其中包括一批电子军工企业。我们厂即是在此背景下于1970年初开始建设的。
（计划年产晶体管190万支、集成电路10万块，多晶硅3吨，单晶硅500公斤）。
2、八0七0厂建设情况
国营八0七0厂的厂址在山东省临沂地区（现为淄博市）沂源县（又称南麻县）南部山区的山沟里，离沂源县城大约有25公里。全厂东、西、北三面环山，南面面临两个小山村，杨庄和张庄，两个庄南边又是山了。当时，在沂源县已建了一些军工企业，比较出名的有：沂源西部的土门一厂、土门二厂，沂源东部的红旗机械厂和沂源中部的东风化肥厂等。其实，我们厂是建在半山坡上。全厂占地面积大约有二百亩左右。厂的西部是单身职工宿舍区，就是沿着山坡建的一排排石头平房，有二十几排平房吧。我们把厂的这一区域叫：西山。“西山”最下面的建筑就是我们的职工食堂。食堂其实也当作大礼堂用，是个大约宽二十几米、长四五十米、高五六米的石头房子。现在想想我们的食堂（大礼堂）还是挺气派的，四面墙都是一色的青石加水泥砌成，大梁是钢梁结构，没有一根柱子，灰瓦盖顶。食堂的北上方是一个蓝球场；食堂的南下方是我们的露天剧场（露天电影院）。食堂的西南方向150米左右的地方是我厂的医院和汽车队。厂的东部是家属宿舍区，也是顺山坡建的一排排石头房屋，有二、三十排吧。我们把这一区域叫：东山。“东山”下面就是一条进厂的大路，大路直通我厂大门。顺着这条大路向东南可走出我厂所在的山沟到达鲁村乃至沂源县城。出厂门向南50米的路东侧（即“东山”下面）是我厂的招待所，所谓招待所其实也就是两排石头平房；路西侧是我厂的小卖部和邮局。在我厂的小卖部除了可以买到日用百货外，还可以买到菜和肉等食品，那时小卖部的交易量不算小。我厂的中部是生产工作区。生产工作区四周有一道石头砌的围墙，将这一区域与“东山”和“西山”隔开。围墙的南开口就是我厂大门了。在我的记忆中我厂的大门上从来没有挂过标有厂名的牌子，所以我厂的两个厂名（山东半导体研究所和国营八0七0厂）中哪个更正式些到现在我也没搞清。从大门进厂向北是一片渐渐高起来的漫山坡，整个厂的生产车间和办公用房屋都建在这个山坡上。这个区域的中央部位有三排比较宽的石头平房，是我厂首脑机构所在地，历任厂党委书记、厂长，副书记、副厂长、机关各科室负责人和其他工作人员都在此办公，我们称这里为“厂部”。厂部向北是我厂锅炉房，锅炉房再向北200米开外有座三层青石大楼，这是我厂最大也是最雄伟的建筑，它的建筑面积大约有2000平米吧，我们的二车间、四车间就是在这里生产出了我国航天卫星曾用过的晶体管的。在二、四车间生产大楼的侧下方是六车间的一个很大的金加工厂房。厂部和二、四车间等建筑的周围有一条环厂马路。环厂马路外侧的山坡上由西向东建有五座青石楼房，它们依次是：一车间（材料车间）生产楼、制版和总测楼、三车间生产楼、氢氧站以及厂区东北角地势最高的“拐角楼”（先为曲融法拉单晶用楼，后来职工子弟小学设在这里）。前三座楼均为1000平米左右的两层楼房；氢氧站是一座专为氢氧气制备设计的500至600平米的建筑；“拐角楼”为1200平米左右的三层楼房，因其建筑形状为L形而得名。从1970年到1980年的十年间国家为我厂建设共投资2000多万元人民币，主要用于基建和购买生产检测设备了。这些投资相当于现在的几亿元人民币了，可见当时山东建设三线的决心之大。
3、八0七0厂的组织结构
①八0七0厂领导机构就是“厂部”了。“厂部”包括：厂党委（厂最高领导机构）、各党政科室等。厂的领导职务有：党委书记，副书记，厂长，副厂长等。厂部设置的科室有：党委（厂部）办公室，政治部，后勤科，生产科，技术科，劳资科，财务科，供销科等。当时我厂的行政级别为县团级。
②厂里共设有六个生产车间。三个晶体管生产车间（二、三、四车间）生产各种小功率和大功率的晶体管。一车间是材料车间，生产单晶硅、外延片以及制备好的各种单晶片。五车间是制版和测试（总测）车间。六车间为金加工和各类用气、用水、用热供应车间。
③另外，厂里还设有几个后勤机构。厂医院，有几名医生和护士，有几间住院用的病房，一般小病都在这里治疗。大病、急病也可以在这里先处理一下后送南麻医院。汽车队有一台军用吉普车和10辆左右的各类卡车。汽车队有十几名司机和汽车维修工。当时汽车司机是很吃的开的工作，因为我们进出厂办私事有很多时候都要有求于司机。
4、全厂人员情况
国营八0七0厂建厂十年间，前后在厂里工作过的职工总计不下千余人。其中，厂领导前后有二三十人，中层干部一百多人，技术人员一百多人，工人七八百人。厂里一般在职人员八百多人。
①厂领导
建厂初期，我们厂直属省国防工办电子局领导，电子局当时的领导同志有陆晓峰、刘保珠等人，他们都是现役军人。其中，刘保珠经常到我们厂来。记得那时还有一位姓刘的军代表，给我们讲过：“八0七0厂的地址是济南军区程副司令亲自定的，这个地址好，如果敌人来空袭，我在东北西三个山头架上三挺高射机枪就解决问题了。”厂子建好后第一任厂党委书记叫胡荣堂，是位三八年参加工作的老革命，十三级干部。听说他当过部队的文工团员，参加过很多战斗，是位有水平的领导干部，但后来很快就调走了。继胡任我厂党委书记的好像就是李殿同志了。李殿同志到七七年左右就调走了。我大学毕业又回厂时厂里的党委书记是戴书记，还有一位是王书记。在我厂的厂长中我印象深一些的有四位：一位是白厂长。他是位懂生产的厂长，好像是从别的三线厂调来的。我争取调回济南时找过他。其实，那时我们这些工人和一般干部找厂领导大多都是为了想调回城市工作，很少有机会在工作中直接接触厂领导。一位是魏志俊厂长。这是一位管理半导体生产的专家型干部，从生建八三厂调来的。他的名气很大，听说当时国民党台湾的广播电台都说：“大陆有位半导体生产企业家魏志俊，此人组织半导体生产很有才能。”我厂在南麻的十年期间，从建厂到生产出了大量军用的（后来也生产民用的）晶体管、集成电路，魏志俊厂长是居功至伟的。七十年代后几年，张敬亭同志由我厂生产科长提拔为副厂长。张厂长经常深入到生产一线抓生产，是位实干家。宋成修同志也由销售科长提拔为副厂长，他对我厂的销售工作是做出了很大贡献的。
②中层干部
在厂的中层干部中我比较了解的有以下几位：
梁润水同志，一车间的车间主任。我进厂时就在他的领导下工作。无论在思想上和工作上他对我的帮助都是很大的。老梁是位大个子，精力充沛，非常能干。在建厂的头一、二年内就带领着一车间的全体同志日夜奋战，安装好了精度很高的直拉式单晶炉、外延片生产用高频炉和其它单晶片制备用设备，并生产出了单晶硅、高频大功率晶体管用外延片和各种晶体管急用的单晶硅片，老梁的苦干、实干精神，他仆实真诚的思想风格我至今不能忘怀。
袁新明同志，一车间支部书记，后来担任厂团委书记。老袁是转业军人，在部队时是连指挥员，70年到我厂时32岁，大个子，聪明，风趣，能写一手好文章。记得那年他写的年终总结足足有好几万字，让我吃惊不小。他在一车间期间，把部队的工作作风带到了车间，对我们这些青工的思想进步起到了不小的作用。记得有一次下中班回宿舍的路上，他对我们讲：“我在部队经常练夜老虎，最不怕走夜路。”话刚说完就听扑通一声，我回头一看他不见了，原来他掉到我车间下面的一个没盖的暖气管道井口里去了，当我们把他拉上来时，“夜老虎”说：“白天没看好地形。”
宫衍民同志，二车间车间主任，我从1976年大学毕业后就分配到二车间当技术员，在他的领导下工作。我和宫主任1971年就比较熟了。1971年我们都去参加了国防工办召开的一次“学习毛泽东思想积极分子代表大会”在会上我和宫主任正好住在一个房间，会余经常在一起聊天，谈得话题很广泛，我从宫主任那里学到了很多东西。后来在二车间我们工作配合的很默契。宫主任是从八三厂来的，为人沉稳，老练，办事情心中很有数，二车间的生产技术工作在他的领导下很有起色，成为厂里主要的成品生产车间之一。
周建俊同志，二车间党支部书记，也曾在一车间继袁新明后担任过支部书记。周书记也是从八三厂来的，是张敬亭同志的夫人。虽然是位女同志，但她很能干，责任心很强。记得每天上班她都很早就到车间，抓工作纪律，抓学员们的思想教育工作。工作非常努力。那时我的几个小兄弟都很顽皮，为了帮助他们进步周书记可没少费心。
还有几位我了解多一点的中层干部如：技术科的翟科长，生产科的老吕（吕秀勤）、宋国清（人称宋瓜），政治处的马安学等同志。翟科长当时经常到生产一线抓技术工作，是位很实干的技术干部；老吕和老宋都是魏厂长依靠的生产骨干，号称魏厂长的左膀右臂；老马是山工毕业的大学生，是我厂政治工作骨干，离厂后好像干过省电子例行实验站站长和济南市电子局局长。
③技术人员
我厂刚建厂时，从全国各地分来文革前入学的大学生有四五十位，我比较熟悉的有以下几位：姚俊强同志，他是我厂老大学生中唯一学半导体专业的大学生。姚为人厚道，有一副典型的知识分子的憨相。因为他是六十年代就入学的半导体专业大学生，主要学的是半导体烧结工艺，所以对半导体平面工艺了解较少。二车间刚投产时他在二车间当技术员，由于他对平面工艺了解的还不如八三厂来的一些工人师傅，加上他又放不下知识分子的架子，在二车间工人中搞的不是很香，很多人说他：什么也不会，还大学生哪！其实，后来我了解的他还是位理论基础很深厚的人。我回厂后因为想考研究生，曾经多次找他请教过固体物理和半导体物理方面的理论问题，他都给了我满意的答复。我对他的评价是：一个理论与实践结合的不是太好的好人。
王树刚同志是1971年才到厂的山东大学毕业的大学生，是位党员。他一到厂就分到一车间，在我们车间担任车间团支部书记，我当时是一车间团支部文体委员，和他接触比较多。王树刚很有政治头脑，读了很多政治方面的书籍，给我讲过很多古今中外帝王将相和当时各国领导的故事，还有从北京传来的文化大革命运动发展的各类政治信息，这些故事和信息对我的政治观念产生了很大的影响，例如：他讲的“阴谋和阳谋的唯一区分方法是看它们是谁设置实施的，坏人玩的是阴谋，好人设的是阳谋”的观点我至今未忘。老王是学物理的，在车间给学员上技术课时他也讲过课。他讲课时总是把问题摆出来，如：欧姆定律是什么呢 ?然后说这个很简单，不用讲你们也知道。使人感到知识都很简单，但细想起来它又简单的让你什么也不知道。
张希三、郑三华二位大学生分别是三车间和四车间的技术员，都很踏实能干。有技术有水平，三、四车间能生产出很多军用大功率晶体管与他们的努力是分不开的。后来二位都随厂到安丘去了，张还当了安丘八0七0厂的副厂长。
贺继凯同志是一个军工大学毕业的大学生，因为他的夫人刘玉香同志是我在一车间时的师傅，我在二车间时他也在那里干车间副主任，所以我们私交很好。老贺一直在生产一线工作，积累了大量半导体生产实践和管理经验，随厂到安丘后也为安丘厂的生产建设做出了很大贡献。
来我厂文革前入学的老大学生还有开朗善聊的田正声（因为他戴着一个黑边眼镜，我们都叫他“大黑边”），设备维修技术高超的梁殿生、老顾，精明能干的高照运（我们叫他“小黑边”）等同志，这些人后来相继离开我厂，老田到青岛海尔集团干了销售经理，老梁在济南办了公司，高照运在省安全厅当了处长。听说还有一位六车间姓苏的大学生离开我厂后在杭州当了浙江省的副省长，这是我厂出去的人中最大的官了。
70年代中后期，文革中毕业的工农兵大学生开始在我厂技术工作中发挥作用，除了我76年从山大毕业后回厂在二车间担任技术员外，潘文正早我一年从山大物理系半导体专业毕业，回厂后在三车间担任技术员；王康祥和我同班毕业于山大物理系半导体专业，回厂后也在三车间，担任技术员 ；李维荣七四年毕业于北大物理系半导体专业，回厂后在四车间担任技术员。我们这些工农兵大学生虽然基础理论比老大学生差一些，但上学前就在半导体生产一线干过，上学后又学的对口专业，所以在半导体工艺实践中迅速成长起来。像潘文正、王康祥等人在校期间学习就是拔尖的，回厂后在平面工艺操作技术和设计技术方面的造诣已经不亚于那些老大学生了。也有一些分配到我厂的工农兵大学生由于上大学时基础就很差，进厂半年还不能独立操作一个工序。
④工人
我厂的老工人（所谓“老工人”当时也只有20多岁）大部分是从生建“八三”厂调来的大约有200多人。刚建厂时我厂还招收了近500名学徒工，济南120多人，烟台120多人，临沂100多人，胶县100多人，青岛40～50人。这些学徒工大多只有15岁～17岁。一车间的老工人有：褚建成，是从“八三厂”来的，在一车间单晶工段（当时叫一连四排）当排长。老褚是位很有心计的人，技术好，工作肯动脑筋，在排里威信很高。建厂初，一车间安装单晶炉并试生产单晶任务很重，他带领全排同志日夜苦干，很漂亮的安装好了设备并拉出了我厂第一块单晶。我进厂时在一车间四排测试工序当学徒工，我的两位师傅是刘玉香和赵济平。他们两人都是八三厂来的，对我很好，教会了我很多东西。刘玉香师傅后来还成了我和我夫人孙军（当时和我在同一工序当学徒工）的婚姻介绍人。一车间的老工人还有侯玉忠、李常宝、程玉良、王正安、徐桂芬等人。侯玉忠是干曲熔法拉单晶的师傅，为人很耿直。李常宝是外延工序的师傅，他的爱徒董建军是我的挚友，为了带好董建军他可没少费劲。程玉良师傅是我厂政治处主任程连奎的儿子，是拉单晶好手，后来与我夫人的好友黄淑琴结为夫妇。徐桂芬师傅是宋国清的夫人，很能干，是四排女青年们的主心骨。
王正安也是从八三厂来的，他从来没有愁事，极为乐观。后来他得了一种塌胸的怪病，医生的结论是无药可救，活不了几年。可他一直快乐的活着，这种奇迹的出现只能从他快乐的性格中找原因了。
一车间的青工中，比较出色的有李林忠、赵沂波、董建军、于文涛、杨秀苹等人。李林忠是从济南去的，他在技术上进步很快，一直是四排学徒工中的尖子，是第一个掌握拉单晶技术并独立拉出单晶的学徒工，在厂期间还入了党。赵沂波是临沂去的，和我一个工序，是我的密友。他聪明，好学，工作勤奋努力，进步很快，得到领导重用。离厂后他在临沂干了公司经理。董建军、于文涛是外延片生产的业务骨干，董离厂后到深圳当了一名企业家，是我厂出去的人中少数拥有可观资产的老板；于文涛出身书香门第，离厂后毕业于山东大学，一直从事激光科研工作。杨秀苹是四排各方面都表现比较突出的青年女工。在一车间的青工中还有很多在政治思想上积极要求进步的，如：女青工赵素玲、曹绪华、李建等人。
二车间和我接触多一些的老工人有苏春源、宋云华等人。苏春源是八三厂去的，苏师傅对我的帮助是很大的，特别是在扩散工艺的操作上，他手把手教我，使我受益匪浅。他对我们工农兵大学生的成长是有贡献的。宋云华也是八三厂去的女工，一直在硼扩散工序。她是李维荣的夫人，工作起来认真负责，对技术也有自己独到的见解，她曾给我讲过她对硼扩散样片电阻率的控制方法，真是实践中总结出来的经验之谈。1976年我回厂到二车间时很多青工已在生产和业务工作中崭露头脚了。如前工序的：刘征然、李其平、李俊江、吴永宁、王兴菊、姜红、李明武、王连敏、李大头、小匡等人，后工序的：杨玲、刘荣、王金华、李克宁等人。刘征然、吴永宁、王兴菊、姜红都是光刻工序的好手，光刻工序在芯片生产中是非常关键的工序，需要在显微镜下手动对版，精细度只有几微米，相当于头发丝的1/10，难度可想而知，但他们都熟练地掌握了这项操作技术。李其平是二车间技术小组的成员，车间质量检查员，很能干。李俊江是生产的多面手，他干过扩散，光刻，蒸发等工序，工艺技巧方面很有自己的心得，在技术上对我的帮助不小，只是这家伙纪律性较差，是使车间领导比较头痛的人物之一。李明武是我的好兄弟，勤奋好学，孜孜不倦，工作也很努力，大学毕业后考取了研究生，成为我厂出去的人中少有的具有硕士学位的学者。
我记得杨玲在我到二车间时就在后工序（热压、封装工序）当排长（工段长）了，她严格干练，工作认真负责，在后工序的女青工中很有威信。离厂后杨玲到临沂银雀山博物馆工作，著有孙子兵法方面的考古专著，成为有成就的学者。刘荣是位活泼热情的姑娘，我曾和她还有俊江、王小英一起到上海学习P-MOS制作技术，她的单纯给我留下了深刻的印象。离厂后刘荣在临沂外贸当了一名老板，主抓活牛的出口生意。王金华工作大胆泼辣，认真负责，是领导很依重的生产骨干，在厂里就入党提干（二车间的副主任）了，后来嫁给了我的朋友薛群立，二人调往胶州市工作。李克宁也是一位很能干的姑娘，后来和我的好友赵沂波结婚，在临沂市质监局工作，因表现突出，被提拔为副局长。
除了上述谈到的人物外，我厂当年的学员中还有很多优秀的人士，如：济南学员队的尹敬宇、王宏林、李庆年、刘浩、田立娃、杨健；临沂学员队的薛克、袁浩；胶县学员队的任世光、高思恩、王立明夫妇、李鲁光、李鲁芳兄妹；烟台队的刘少荣、曲竹立、林志刚、王増林；青岛队的陈玉海等。这些人在厂里时就有着不俗的表现，离厂后更是在自己的事业和工作中取得了不小的成就。像薛克，担任了山东省发改委副主任，为山东省的经济建设作出了突出贡献，对八0七0厂的老人们也总是尽心皆力地帮忙，受到了大家的尊重。烟台队的曲竹立离厂回烟台后当了一名企业老板，在事业上取得了很大成绩，对朋友们也是全力帮助，这种兄弟般的情谊深深地温暖了我的心。
二、八0七0厂的生产情况
八0七0厂是文化大革命期间建厂的，当时的建厂指导思想是要建一个半导体器件生产方面的“小而全”的厂子。从1970年到1980年10年间经过全厂职工的努力，建成了一个从单晶硅片子的制备，直至能够独立生产晶体管成品和中小规模集成电路的军工企业。厂子有单晶硅和单晶硅片子的制备车间(一车间)，晶体管和集成电路芯片制造和封装为成品的车间（二、三、四车间），晶体管芯片制作用光刻版、母版制作及成品晶体管、集成电路测试车间（五车间），还有半导体器件制造所需的各种水、气制备和金加工车间（六车间）等。应该说在当时半导体器件生产方面是一个能力比较全面的企业。在70年代初期我厂的生产设备在国内可以说是比较好和比较先进的，在国际上也达到了中等技术水平。厂内的单晶炉、扩散炉、蒸发炉、光刻机、各类测试仪等生产设备都是当时国内研制出来的最新产品，或从国外进口的设备，特别是半导体器件生产的关键设备—工具显微镜都是德国进口的产品，这种显微镜能达到准纳米级了，连上海的半导体生产大厂都没有，我厂一进就是好几台。
到1978年，我厂生产的主要产品有低频大功率晶体管、高频大功率晶体管、G35、G36、G37和2Z210、2Z211高频小功率晶管和P-MOS系列中小规模集成电路。
1970年—1973年我在一车间工作。一车间当时有三台单晶炉、二台高频外延炉和一些切片、磨片设备。硅单晶拉制是一项高精细、高技术工作，其过程大体是：将装有多晶硅的石英坩埚放在单晶炉内电加热至摄氏1000多度，等石英坩埚中的多晶硅化为液体后用子单晶条（1mm见方、长30～40mm的单晶）去接触硅液面，使接触界面的硅原子按单晶条的单晶硅原子重新排列，逐渐提拉，生成新的单晶硅，直至将坩埚中的硅全部拉出。到后来一车间四排除几位老工人外，很多学徒工都能单独操作拉单晶的全过程，其中李林忠的技术是最好的。合格的单晶硅（最大直径一般为5～8cm，长约10～17cm，萝卜状）再经过切片、磨片、抛光、外延（高频大功率管用硅片）等工序后制成单晶片，即可送管芯车间制作芯片了。到我从大学回厂时几个管芯生产车间用的单晶片基本可由本厂自我满足供应。我的工序是负责对单晶硅、外延片的测试。测试设备当时有三探针测试仪，四探针测试仪等，比较简陋。三探针装置还是我和赵沂波、徐竹江等人用有机玻璃自制的。外延生产就是在中性单晶硅圆片上生长一层不同电阻率的单晶层，供高频大功率晶体管芯片制作的特殊需求，这在当时是较为先进的工艺技术。它的整个过程都是在高频炉里完成的。外延片生产时，高频炉内温度也有1000度左右，还通着氢气，技术难度和危险性都不小。除老工人外，当时掌握这项技术比较好的有董建军、于文涛、徐法文等人。我的几个朋友张胜军、李友谊、徐明等人当时都在一车间磨片工序上，他们聪明好学，技术也不错，就是太年轻有些淘气，周指导员对付他们有些吃力。
1976年—1980年期间我从大学毕业回厂到二车间工作。二车间用平面工艺生产高频小功率晶体管，主要有G35、G36、G37军用高频小功率晶体管和电视机高频头用2Z210、2Z211高频小功率晶体管。70年代后期还试生产了P-MOS集成电路。平面工艺生产PNP型晶体管的工艺过程大体是：单晶硅氧化（高温850℃～1000℃、通氧20～30分钟）—第一次光刻（刻扩硼窗口）—扩硼（高温、800℃～900℃左右，10～15分钟）同时第二次氧化片子表面—第二次光刻（刻扩磷窗口）—扩磷（高温800℃～900℃，时间10分钟左右）同时再次氧化—第三次光刻（刻铝接触窗口）—蒸铝—第四次光刻（反刻出铝引出条）—片子背面蒸金—管芯测试（选好管芯）—划片（将好管芯分离出来）—热压、封装（将好管芯引出管线并封装于金属壳中）—总测（对晶体管筛选、分类）—成品包装出厂。整个工艺过程的每个工序都要对片子进行反复的化学清洗处理，主要是用高纯硫酸、硝酸、王水等化学试剂（一般必须达到分析纯和优级纯）煮沸，再用高纯去离子水蒸沸冲洗。
这套工艺手段在70年代初期应该说还不太落后于国际水平。我厂当时生产产品的成品率较低，但由于我们的测试设备比较先进，所以选出的合格管子的质量还是可以的。我厂的各类晶体管都曾上过我国的卫星、导弹，受到国防科工委的表彰。大家在周建俊、宫衍民、贺继凯等车间领导的带领下，努力工作，也取得了一些成绩。记得当时车间还组织大家劳动竞赛，我和李俊江、李其平等组成的竞赛小组实力还不俗哪。建厂十年间，生产形势最好的一年是1978年，这一年我厂赢利20余万元。但到70年代末期，从一个工业企业的角度来看，它的一些本质弱点开始无情的显示出来：第一，技术生产管理的粗放性。下面举例说明一下这种粗放的程度。我在二车间的四年间，每个管型的生产都没有一本完整正式的工艺文件，生产凭工人自己确定工艺条件，自己操作，出了问题也不追纠生产者的责任，只是车间干部和技术人员到现场，大家商量，分析一下原因，接下来再干。因为车间的生产责任制根本没有建立起来，生产中浪费惊人。有一次一位工人把价值1000多元的石英管打碎，用簸箕一撮从后窗倒掉了事。半导体生产是有高清洁度要求的，但我厂清洁制度也没有很好地建立起来，使生产受到了严重影响。有一次，一批片子到后工序测试合格率很低，检查原因竟是由于前工序操作人员中午吃大包子没洗净油手所致。第二，由于我厂的生产车间楼都是用石头建的，又没有进行密封处理，所以生产环境（主要指清洁程度）很差，根本无法保证半导体生产所要求的高清洁度。第三，也是最重要的一个弱点，就是全厂职工不安心在山沟里工作，几乎100%的职工都是在努力争取调离，调到大城市或一个生活、工作环境更好的地方。由于这些本质弱点的逐渐突显，使我厂的生产水平与当时国内上海、北京、济南的一些半导体老厂的差距开始拉大，与国际水平比更是差距巨大。我车间生产的高频小功率晶体管从投片到出管的单管成品率一般只有5%左右，最好也很少超过10%，而当时上海的半导体生产厂的同类晶体管的单管成品率是30%左右，国际上则已高达98%。我记得，大概是1979年吧，国务院四机部组织了一次全国性的国内半导体生产工业水平与国际先进水平实物对比分析活动，分南片和北片进行。北片的地点在沈阳，南片在上海。北片的分析小组由北京、辽宁、山东、天津等省市派有关专家和技术人员参加。我受省电子局和我厂派遣参加了这次分析活动。北片分析小组的任务是：解剖从日本进口的电视机用C1070高频小功率晶体管（同时也解剖国产晶体管），从中对比分析我国与日本在此种半导体晶体管生产方面的差异，从设计和工艺技术角度提出我们的改进措施和发展方向。具体的解剖分析方法是：用烧结炉将日本和我国的塑封晶体管加热到800℃～900℃,去掉塑封壳,取出小米粒大的管芯在显微镜下观看其表面情况,以对比芯片生产的差异情况。说实在的,当我在显微镜下看到日本管芯表面时不由得倒吸了一口凉气：清洁透明的淡黄色隔离层覆盖于芯片表面(氮化硅表面，说明日本已广泛使用了离子注入的PN结生成技术),清澈整齐的光刻线条(自动激光对版光刻工艺的产物),整齐四棱的管芯边沿（说明了其芯片切割技术的完美),这一切都标志着当时我国半导体器件工业与日本的差距已有了一条几乎无法逾越的鸿沟。1970年到1979年短短不到十年的时间,我国半导体器件工业与日本拉开了这么大的差距是我们分析小组每位同志都非常吃惊也是十分伤心的。分析小组同志们的一致结论是:我国的半导体生产技术已落后于日本10～15年,这种落后也标志着我国电子生产设备技术、属于原子物理范畴的离子加速和注入技术、激光实用技术、机械制造特别是高精密机械设备和仪器的制造技术、冶金工业技术、化学工业的提纯技术等等科学技术领域的全方位的落后。当然这种落后是文革十年动乱造成的。
令我十分不解的是八十年代初期我国电子工业的发展方向为什么选在优先发展电子产品的整机生产上。其实，半导体器件生产、集成电路的芯片生产才是电子工业的核心，才是电子工业发展的永恒的主题。我个人认为，八十年代初的选向方面的问题加剧了我国电子工业水平与国际先进水平的差距。 |
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楼主: 张浩-雷霆万钧
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发表于 2020-8-16 23:38:11
