类似光刻蚀刻,是要掩膜组合来进行(下图)。
掩蔽网膜的构造
为了蒸发规定大小的电图极,掩蔽网膜的缝隙必须和电极所要求的尺寸相同。常用的缝隙呈矩形,尺寸为25 X 50微米、25 X75微米和25 X 150微米。
实际应用的掩蔽网膜是由隔板、网膜和压板三部分重迭起来组成的。掩蔽网膜的缝隙实际上并不是单由网膜构成的,而是由隔板和网膜相互重合配套构成的。隔板和网膜上均有矩形的穿孔,但它们的几何尺寸并不相同,隔板上的矩形穿孔的宽度应等于掩蔽网膜上所要求的实际隙缝的长度,而网膜上矩形穿孔的宽度应等于掩蔽网膜上所要求的实际隙缝的宽度,当隔板和网膜重合起来(使两者的矩形穿孔交叉垂直地迭合)时就形成了我们所需要的隙缝尺寸。