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发表于 2021-2-16 20:40:49
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信息产业IC/IT就是个三头六臂的合体:基础创新是数学理论,建模分析依靠物理知识,具体制造却又靠化学材料。“先进制程,化工先行”,化学工业,是四大劝退“生化环材”的核心,作为化学知识和机械工业的结合体,既是机械加工的后续升级,也是精细加工的必要前导。
革命前进不是请客吃饭,化工技术不是化学知识。从这个角度上讲,后续制造硅锭,必定要有规定,否则产品形状不像龟腚,没人会称赞贵鼎的。
还是要先做硅粉的纯化:硅粉精制是把会有不定量水分的硅粉在干燥炉内同氮气流化夹套蒸汽加热进行干燥,去掉水分,干燥后的硅粉含水量是影响三氯氢硅质量的关键因素,因此,严格控制工艺条件,保证硅粉质量是硅粉精制的主要任务。
三氯氢烷氢还原法(西门吹雨法)
第一步,金属硅与氯化氢反应,生成中间产物三氯氢硅烷(TCS):
(冶金级MGS的)Si(s) +3HCl(g) = SiHCl3(g)(TCS)+H2(g)
反应温度:300℃理论可以得到TCS纯度:99.9999999%(9N)
第二步,将反应器内的多晶硅细棒(直径约5mm)通电加热至1100 ℃以上,通入SiHCl3和高纯度的氢气,发生还原反应,生成的硅沉积在硅细棒上,不断长大至直径150-200mm, 制成半导体级多晶硅棒.
反应式: SiHCl3(g) + H2(g) = (半导体级SGS的)Si(s) +3HCl(g)
这里的相变分离是精细化工的核心,所付出的只要能源,而相较于传统的机械、后来的化学和热能,电能的“接化发”更为精妙,那需要太多的科技实力。
电能是最重要的瓶颈,能源利用也是区分文明程度最为综合的标尺,显然不同大国与文明之间已经有了微妙的区别,庞龙的“两只蝴蝶”,展开了“隐形的翅膀”。
李达述让宋青书把这些粗硅打碎成粉,硅粉由人力鼓风器扬起以便初步控制粒度大小,去掉其中的部分杂质,抽入或直接由入孔倒入硅粉干燥炉内,然后利用氮气加热器来的氮气(控制在200~250℃)从干燥炉底部吹入。同时打开蒸汽阀,给干燥炉夹套通蒸汽升温到180~220℃之间,每批加热时间3~4小时左右(根据每批通入硅粉数量确定)。每批加入的硅粉约15千克,加热干燥后的硅粉放入硅粉加料罐中储备,这时的硅粉化学纯度虽然只有90%左右,小于正规流程95甚至99%,但是已经不会毒害后级设备,可以供下一级的合成处理使用。
李达述给季思退、齐楚秦好说歹说,一再强调三氯氢硅不但可以做多晶硅太阳能电池、单晶硅电子芯片原料;而且三氯氢硅SiHCl3和四氯化硅SiCl4作为有机硅的前体,并不只是人体润滑油剂和人体隔离器材的原材料有机硅油、硅橡胶,而是还可以推进有机硅化工、化学气相淀积、硅酮化合物制造……。并且许诺不但可以分担一些化工的合成,还会一起想办法解决电力和人力短缺的根本问题(通过大力增加工业用电,减少生活居民用电,有助于人口的自然增长),这才得到了化工部的无限许诺、有限支持。
又向张枭、徐营捷要来了王维扬和张招重,代价是先给两位元老的别墅,装上太阳能电池。
SiHCl3=28+1+35.5*3=136
按照李达述的规定,王维扬反复阅读三氯氢硅的制备方法:(1)在高温下Si和HCl反应。(2)用氢还原四氯化硅(采用含铝化合物的催化剂)。
三氯氢硅并不稳定,在常温常压下为具有刺激性恶臭易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易燃烧,在-18℃以下也有着火的危险,遇明火则强烈燃烧,燃烧时发出红色火焰和白色烟,生成SiO2、HCl和Cl2;
由于SiHCl3的分子量为136,比空气29重,会在地面向低洼处流动,很容易积累在低洼区域,这方面甚至比氢气2乙炔26还要危险。而三氯氢硅的蒸汽能与空气形成浓度范围很宽1.2~90.5%(体积分数)的爆炸性混合气,高于闪点的能量时可以引起猛烈的化学反应。
如果出现了SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2快速放热的不可控链式反应;那么经济损失特别巨大,社会危害特别恶劣,造成后果特别严重,依法将予以严厉打击!
陆菲青连连点头,说自己知道了,一定会注意:“加强管理促效益,缺乏管理出孝衣”。
阎世章的岗位是将干燥的硅粉输送到流化床内,在流化床反应器内,硅粉与氯化氢气体进行合成反应,反应生成的氯硅烷混合单体经过除气、净化、冷却、加压、再冷却后送到脱气塔内,塔顶脱除低沸物氯化氢,氯化氢气体重新返回流化床循环使用,塔底混合单体经单体冷却器冷却后送入混合单体储罐)中供精馏岗位使用。混合单体在精馏得到提纯后即可得到产品三氯氢硅和副产品四氯化硅。
“小阎,你的岗位非常重要,硅粉与氯化氢气体反应是在硅的表面进行的,硅粉比表面积越大,越有利于反应,即要求硅粉粒度应该较小。但是粒度过小,流化时容易形成聚式流化床,有较多的气泡,将抑制传质进行,使氯化氢的一次转化率降低,同时,较小的颗粒迅速反应,很快就达到带出粒径范围,使硅粉的利用率降低。因此,选用粒度适中的硅粉是很重要的。这是我们‘硅基所’的工作中心,大家身为‘龟奴’,掌握‘规律’,‘硅基归集’,牵涉到元老院的千秋大业”
他们把干燥的硅粉在铝土矿内壁管中加热800至1000以后通入氯化氢,得到TCS(Tri Cl Silicon)三氯氢硅SiHCl和四氯化硅的多种氯硅烷混合气体,作为一个放热反应,在反应开始以后又要控制温度大约300度,避免生成不稳定的二氯硅烷。在这个过程中,粗硅中的Fe等金属元素都不能生成气相化合物,留在残渣中。
Si+3HCl=SiHCl3+H2主反应
Si+4HCl=SiCl4+2H2副产品(T>350℃)
要避免Si+2HCl→SiH2Cl2 (T<280℃)
由氯化氢加热器来的氯化氢气体(50~80℃),经调节针阀控制氯化氢压力,一起从流化床底部进入流化床反应器内与硅粉在流化床内以流化状态型式合成氯硅烷,合成反应温度控制再280~320℃,反应压力要控制好,反应过程中通过观察U形差压管读取压力判断料层的高度。本来还想要用标定的差压管来作为流量计的,但是异型玻璃管的线性一致度实在太差,只好作罢。
反应器不同位置的反应温度判断反应点,该反应为放热反应,生成热由通入反应器内拐型管的热水带出,控制流化床反应温度在280~320℃。
热水罐内的热水经热水泵打入反应器拐型管内,与传统交换器不同,这个位面的高压热水罐是埋在地下的,与蒸汽总管扣连,保持热水罐的压力大于一个大气压ATM,而且可以通过液位加以调节,热水在拐型管内减压汽化成蒸汽(0.4MPa)。蒸汽从流化床反应器出来进入热水罐产生的0.4MPa的饱和蒸汽可供其他耗气设备使用。
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